Kuinka vähentää öljyn saastumista korkea{0}}tyhjiödiffuusiopumpuissa

1. Suunnitteluominaisuudet ja laitteistoratkaisut (tärkeimmät)

Asenna ohjauslevy tai sateenvarjo{0}}tyyppinen öljylukko
Labyrinttityylinen välilevy diffuusiopumpun ulostulon ja tyhjökammion välillä auttaa estämään öljyhöyryn kulkeutumisen suoraan kammioon.

Käytä kylmäloukkua (tehokkain ratkaisu)
Pumpun yläpuolelle sijoitettu kylmäloukku kondensoi öljyhöyryä ennen kuin se saavuttaa kammion. Jäähdytys voidaan tarjota nestemäisellä typellä, jäähdytetyllä vedellä tai jäähdytysjärjestelmällä. Tämä on yksi tehokkaimmista tavoista estää backstreaming.

Valitse matalapaineiset-höyryn-diffuusiopumpun nesteet
Käytä korkealaatuisia-silikoni-pohjaisia ​​öljyjä, kuten Dow Corning DC-704 diffuusiopumppunestettä tai Dow Corning DC-705 diffuusiopumppunestettä. Matalampi höyrynpaine vähentää merkittävästi kontaminaatioriskiä.

2. Hyvät toimintatavat (usein huomiotta)

Noudata oikeaa käynnistys--ja sammutusjärjestystä
Anna diffuusiopumpun aina saavuttaa käyttölämpötila ennen täyden pumppauksen aloittamista. Kun sammutat, sammuta ensin lämmitin ja anna pumpun jäähtyä ennen kuin pysäytät etupumpun. Äkillinen etulinjan pumppauksen katkeaminen pumpun ollessa kuuma voi aiheuttaa vakavan öljyn takaisinvirtauksen.

Älä koskaan tuuleta pumppua sen ollessa kuuma
Ilman syöttäminen kuumaan diffuusiopumppuun voi nopeasti hapettaa ja hajottaa pumppuöljyn, jolloin syntyy epäpuhtauksia ja lisääntyy öljyn kulkeutumisriski.

Säilytä vakaa ja riittävä jäähdytys
Oikea jäähdytysveden virtaus on välttämätöntä. Huono jäähdytys heikentää höyryn kondensaatiotehokkuutta ja lisää öljyhöyryn siirtymisen todennäköisyyttä ylävirtaan.

3. Huolto ja säännöllinen hoito

Vaihda pumpun öljy säännöllisesti
Älä odota, kunnes öljy muuttuu tummaksi tai viskoosiksi. Ikääntyvän öljyn höyrynpaine on korkeampi ja se on alttiimpi kontaminaatiolle ja takaisinvirtaukselle.

Pidä pumpun sisäpuoli puhtaana
Puhdista säännöllisesti pumpun runko, suutinkokoonpano ja ohjauslevyt. Öljyjäämät ja kerrostumat voivat jäädä-uudelleen höyryvirtaan.

Säilytä hyvä etulinjan tyhjiö
Jos etupumpun paine on liian korkea, höyrysuihku muuttuu epävakaaksi, mikä lisää öljyn takaisinvirtausta.

4. Kehittyneet toimenpiteet erittäin-puhtaille sovelluksille

Asenna korkea{0}}tyhjiöeristysventtiili
Venttiili kammion ja diffuusiopumpun välillä mahdollistaa järjestelmän täydellisen eristämisen, kun pumppua ei käytetä, mikä estää öljyhöyryn kulkeutumisen.

Käytä öljyttömiä -pumppuja, kun puhtaus on kriittistä
Puolijohdeprosessoinnin tai tarkkuusoptiikan kaltaisissa sovelluksissa monet järjestelmät korvaavat diffuusiopumput turbomolekyylipumpuilla, kuten Pfeiffer Vacuumin tai Edwards Vacuumin valmistamilla pumpuilla öljyn saastumisen poistamiseksi kokonaan.